@book{94411,
	author = {มนตรี เอี่ยมพนากิจ and มติ ห่อประทุม},
	title = {การเปรียบเทียบการเคลือบและลักษระเฉพาะของฟิล์มบางไทเทเนียมอลูมิเนียมไนไตรด์ด้วยรีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง : รายงานวิจัย /},
	publisher = {สำนักงานบริหารการวิจัย นวัตกรรมและการสร้างสรรค์ มหาวิทยาลัยศิลปากร,},
	year = {2565},
	address = {นครปฐม :}
}