TY - BOOK AU - มนตรี เอี่ยมพนากิจ AU - มติ ห่อประทุม AU - พิษณุ พูลเจริญศิลป์ AU - กมล เอี่ยมพนากิจ TI - การเปรียบเทียบการเคลือบและลักษระเฉพาะของฟิล์มบางไทเทเนียมอลูมิเนียมไนไตรด์ด้วยรีแอกทีฟแมกนีตรอนสปัตเตอริง : รายงานวิจัย U1 - วจ 621.3815 PY - 2565/// CY - นครปฐม PB - สำนักงานบริหารการวิจัย นวัตกรรมและการสร้างสรรค์ มหาวิทยาลัยศิลปากร KW - ฟิล์มบาง KW - วิจัย KW - วัสดุเคลือบแข็ง KW - สปัตเตอริง KW - การเคลือบผิว ER -